力学系与湍流重点实验室学术报告－压电薄膜与器件4.16（报告人：任天令教授）
发布时间: 2010-04-13 12:26:00
SEMINAR SERIES
北京大学工学院 
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力学与空天技术系
湍流与复杂系统国家重点实验室
题目：压电薄膜与器件
报告人：任天令教授
清华大学微电子研究所
报告摘要
压电材料具有压电效应和逆压电效应，这两种效应可实现机械能和电能的相互转换。压电材料的优异性能使得它与其它功能材料相比，具有线性好、频率响应好、优良的电磁绝缘性能、不易发热、噪声小、控制方便、转换效率高、制作成本低等优点，可应用于驱动、传感、超声换能、谐振和滤波等方面，在多个领域中受到广泛重视和利用。报告中研究了AlN、PZT等重要压电薄膜的制备与测试表征，并介绍了几种新型压电薄膜微器件的研制，包括硅微声学器件，超声换能器，薄膜体声波谐振器等。
报告人简介
任天令，清华大学微电子学研究所，教授，博士生导师。1997年于清华大学现代应用物理系获得博士学位。现任IEEE电子器件学会北京分会主席，中国微米纳米技术学会理事。研究方向为集成压电/铁电器件、集成微传感器、新型微电子器件。近年来，先后作为项目负责人承担国家自然科学重点基金、国家863计划重点/目标导向等重要课题。在国内外学术期刊及会议上发表论文200余篇，SCI收录100余篇。
主持人：李法新 特聘研究员
时 间：4月16日（周五）下午3:00
地 点：力学楼434会议室
欢迎广大师生光临！联系人：李法新 62757454